利用高温溶液腐蚀蓝宝石衬底的多次腐蚀法生产PSS蓝宝石衬底技术为元旭光电研发团队自主开发的新技术。利用该技术生产的PSS衬底具有外延生长的光电性能好,均匀性好的优势,处于国内领先水平。该技术同时应用了以下先进工艺技术:

(1)高均匀度衬底SiO2沉积工艺; (2)高精度光刻胶涂布工艺; (3)高效低成本腐蚀工艺; (4)全自动精准检测工艺; (5)节能回收再利用工艺。

五大核心优势

性能更优越:使用元旭pss制作的LED芯片产品,整体光电性能更优越

湿法投资更低:同等产能下湿法投资仅为干法投资的一半

品质更稳定:产品的形貌更稳定,表面缺陷少

均匀性更佳:不受平片衬底尺寸大小的影响,片内均匀性和批次一致性更好

应用服务能力更强:团队成员对外延芯片及整个LED行业理解更深刻,具有更强的贯穿产业链的服务能力



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